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制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机
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其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置
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84862041
制造半导体器件或IC的等离子体干法刻蚀机
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84862049
制造半导体器件或IC的其他刻蚀及剥离设备
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84862050
制造半导体器件或集成电路用的离子注入机
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84862090
其他制半导体器件或集成电路用的机器及装置
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84862010
制半导体器件或IC的氧化扩散等热处理设备
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84862021
制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置
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84862022
制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置
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10
84862029
其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备
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